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盛美半導(dǎo)體推出新型晶圓傳輸裝置,提升生產(chǎn)效率

天眼查App顯示,盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司于2023年6月28日申請了一項名為“具有液體排放功能的晶圓傳輸裝置”的發(fā)明專利,并于2024年12月31日正式公開。該專利由朱國輝、孫建、秦真江和王暉共同發(fā)明,旨在解決晶圓傳輸過程中液體滴落的問題。

該裝置包括機器手、接液裝置、排液裝置、控制器和收集倉。接液裝置設(shè)置在機器手下方,并隨機器手移動,以接收機器手上滴落的液體。排液裝置包括排液管路和控制閥,排液管路與接液裝置連接,控制閥設(shè)置于排液管路,用于控制排液管路的通斷??刂破髋c機器手和控制閥分別通信連接,用于控制機器手的移動和控制閥的打開和關(guān)閉。收集倉位于預(yù)定排液位置。

當接液裝置內(nèi)液體的液位達到預(yù)設(shè)液位時,控制器先控制機器手移動到預(yù)定排液位置,再控制控制閥打開,使得排液管路向收集倉排放接液裝置內(nèi)的液體。這一設(shè)計不僅能夠控制接液裝置內(nèi)液體的存儲和排出,還不限制機器手的運動,從而不影響機器手的正常工藝時間。

該專利的公開標志著盛美半導(dǎo)體在晶圓傳輸技術(shù)領(lǐng)域的又一重要突破,有望進一步提升半導(dǎo)體制造的生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

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