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中芯國際推出新型半導體設備故障預警方法
中芯國際推出新型半導體設備故障預警方法
2025-01-01 11:06:02
天眼查App顯示，近日，中芯國際集成電路制造（北京）有限公司與中芯國際集成電路制造（上海）有限公司聯(lián)合申請了一項名為“半導體設備的故障預警方法”的發(fā)明專利。該專利于2023年6月30日公布，專利號為CN202310798500.3。
該方法通過提供若干組歷史設備運行數(shù)據(jù)，包括設備運行環(huán)境參數(shù)和半導體設備是否發(fā)生故障的信息，將這些數(shù)據(jù)輸入至神經(jīng)網(wǎng)絡模型中進行訓練和測試。當神經(jīng)網(wǎng)絡模型的測試準確率達到預設閾值后，即可用于預測待檢測設備的運行環(huán)境參數(shù)，從而判斷半導體設備是否會發(fā)生故障。
通過這一方法，企業(yè)可以提前進行設備檢修或調(diào)整運行參數(shù)，降低設備故障的風險，保證設備的運行時間，進而提高生產(chǎn)效率。該技術的發(fā)明人包括周毅仲、歐陽丁杰、戴吟潔、孫俊麗和白雪。
這一創(chuàng)新技術的推出，標志著中芯國際在半導體設備維護領域的進一步突破，有望為半導體制造行業(yè)帶來更高的生產(chǎn)效率和更低的維護成本。
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