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天眼查App顯示，橫店集團(tuán)東磁股份有限公司在浙江省金華市東陽(yáng)市湖頭陸工業(yè)區(qū)東A區(qū)，成功研發(fā)并公開(kāi)了一項(xiàng)名為“硅片檢測(cè)剔除系統(tǒng)及硅片檢測(cè)剔除方法”的發(fā)明專(zhuān)利。該專(zhuān)利的申請(qǐng)?zhí)枮镃N202411360036.0，公開(kāi)號(hào)為CN119230433A，預(yù)計(jì)將于2024年12月31日正式公布。

該硅片檢測(cè)剔除系統(tǒng)包括傳送裝置、第一剔除裝置及第二剔除裝置。傳送裝置設(shè)有沿傳送方向間隔設(shè)置的第一檢測(cè)工位及第二檢測(cè)工位。第一剔除裝置由多個(gè)第一厚度檢測(cè)組件及通信地連接于第一厚度檢測(cè)組件的第一剔除組件組成，第一厚度檢測(cè)組件位于第一檢測(cè)工位，第一剔除組件可活動(dòng)地位于傳送裝置的一側(cè)，能夠移走第一檢測(cè)工位上的硅片。第二剔除裝置包括多個(gè)第二厚度檢測(cè)組件及通信地連接于第二厚度檢測(cè)組件的第二剔除組件，第二厚度檢測(cè)組件位于第二檢測(cè)工位，第二剔除組件位于傳送裝置的一側(cè)對(duì)應(yīng)于第二檢測(cè)工位設(shè)置，第二剔除組件具有將硅片從第二檢測(cè)工位剔除的開(kāi)啟狀態(tài)。

該系統(tǒng)的設(shè)計(jì)旨在通過(guò)自動(dòng)化技術(shù)，有效清除硅片生產(chǎn)中的疊片及碎片問(wèn)題，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。橫店集團(tuán)東磁股份有限公司的這一創(chuàng)新技術(shù)，預(yù)計(jì)將在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域產(chǎn)生重要影響。

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