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天眼查App顯示，上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司于2023年6月30日公開了一項名為“一種清洗液”的發(fā)明專利，專利號為CN202310795373.1。該清洗液的原料包括氧化劑、胺類有機(jī)物、緩蝕劑、螯合劑、表面活性劑及水，各組分質(zhì)量分?jǐn)?shù)之和為100%。

該清洗液的特點在于不含氟化銨和金屬離子，具有對刻蝕后殘余物的優(yōu)異清洗效果，同時能夠選擇性移除TiN硬遮罩，并抑制銅或銅合金及鈷或鈷合金的損傷。這一創(chuàng)新技術(shù)預(yù)計將廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

該專利的發(fā)明團(tuán)隊由王溯、蔣闖、馮強(qiáng)強(qiáng)、陳曉顏和張敏康組成，專利的公開標(biāo)志著上海新陽在半導(dǎo)體材料研發(fā)領(lǐng)域的新突破。

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