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凱文·凱利：AI沒有責(zé)任感，不會替代人類工作
凱文·凱利在2025可持續(xù)全球領(lǐng)導(dǎo)者大會上指出，AI將賦能可持續(xù)發(fā)展，重點發(fā)展空間、情緒智能與AI智能體，并展望中國在綠色科技與AI芯片領(lǐng)域的全球引領(lǐng)潛力。
楊亮
32分鐘前
安徽大學(xué)與合肥晶合集成電路公司聯(lián)合研發(fā)新型金屬填充質(zhì)量檢測技術(shù)
2025-01-01 14:11:02
天眼查App顯示，近日，安徽大學(xué)與合肥晶合集成電路股份有限公司聯(lián)合研發(fā)的“用于金屬填充質(zhì)量檢測的測試結(jié)構(gòu)和測試方法”正式獲得發(fā)明專利，專利號為CN202411738884.0。該技術(shù)通過改進(jìn)測試結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)了多種金屬填充質(zhì)量的工藝窗口同時檢測，為電化學(xué)電鍍工藝提供了更優(yōu)的解決方案。
該測試結(jié)構(gòu)包括多個測試單元，每個測試單元由第一金屬層、第二金屬層和金屬連接通道組成。第二金屬層位于第一金屬層的上方，兩者通過金屬連接通道連接，且第二金屬層和金屬連接通道通過金屬填充一體成形，采用電化學(xué)電鍍工藝進(jìn)行金屬填充。不同的測試單元中，第二金屬層的周長不同，通過測試單元電阻值的測試來檢測不同的測試單元中金屬填充的質(zhì)量。
該技術(shù)的研發(fā)團(tuán)隊由李典、伍林玲和陳冠中組成，他們通過改進(jìn)測試結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)了多種具有不同金屬填充質(zhì)量的工藝窗口的同時檢測，從而能夠較為便捷地確定采用電化學(xué)電鍍工藝進(jìn)行金屬填充時的最優(yōu)窗口。這一技術(shù)的應(yīng)用將有助于提高集成電路制造中金屬填充工藝的效率和精度，推動相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
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