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天眼查App顯示，安徽富樂德科技發(fā)展股份有限公司近日公開了一項(xiàng)名為“一種半導(dǎo)體不銹鋼TTN膜的清洗裝置及工藝”的發(fā)明專利，專利號(hào)為CN202411682224.5。該技術(shù)由李帥雨、賀賢漢和張繼月共同發(fā)明，旨在提高半導(dǎo)體不銹鋼TTN膜的清洗效率和效果。

該清洗裝置包括自動(dòng)機(jī)械臂、浸泡籃以及按工藝步驟順序設(shè)置的化學(xué)混液浸泡槽一、純水漂洗槽、高壓水洗槽、化學(xué)混液浸泡槽二、純水浸泡槽和吹干槽。自動(dòng)機(jī)械臂設(shè)置在所有槽體的上方，工作端連接浸泡籃，實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)化操作，減少了人工干預(yù)。

化學(xué)混液浸泡槽一和化學(xué)混液浸泡槽二內(nèi)設(shè)有超聲波振板，利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進(jìn)流作用對(duì)液體間接使污物層被分散、剝離而達(dá)到清洗目的。高壓水洗槽內(nèi)設(shè)有高壓水洗噴嘴，吹干槽內(nèi)設(shè)有CDA高壓噴嘴，確保清洗后的部件能夠快速干燥。

該裝置采用了閉環(huán)流程作業(yè)，保證部件清洗的有效性。清洗槽采用了外循環(huán)過濾裝置，保證循環(huán)的藥液的干凈，內(nèi)部采用的防腐超聲波振板，進(jìn)一步提高了清洗效果。整個(gè)清洗裝置由浸泡槽、純水槽、高壓水洗、CDA吹掃等組成，部件在浸泡籃不再通過人工進(jìn)行搬送和清洗，選擇好需要的作業(yè)槽體，設(shè)備可以快速完成搬送和作業(yè)。

該專利的公開標(biāo)志著安徽富樂德科技在半導(dǎo)體清洗技術(shù)領(lǐng)域取得了重要突破，有望在未來的半導(dǎo)體制造過程中發(fā)揮重要作用。

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